W 1344 roku rozpoczęła się wojna pomiędzy księciem Bolkiem świdnickim i królem Czech Janem Luksemburczykiem w trakcie której Czesi zajęli na krótko Kamienną Górę. W czerwcu 1345 roku wspierający Bolka świdnickiego Kazimierz Wielki wspierany przez Węgrów uderzył na księstwo opawskie co spotkało się z kontrakcją króla Czech w wyniku której wkroczył do Polski, jednak został odparty w bitwie pod Lelowem i bitwie pod Pogonią[16]. W 1346 roku król Kazimierz skłonił Władysława bytomskiego do naruszenia związku lennego z królem Czech [17] i rok później wiosną wkroczył na krótko do księstwa wrocławskiego. W dniu 7 kwietnia 1348 roku Karol IV Luksemburczyk dokonał inkorporacji Śląska i Łużyc do Korony Królestwa Czeskiego [18], pomimo faktycznej jeszcze wtedy niezależności księstwa świdnicko-jaworskiego. Akt Karola IV jako króla rzymskiego i czeskiego z 7 kwietnia 1348 r. Monarcha proklamował wówczas m.in. Koronę Królestwa Czech (Coronae Regni Bohemiae), włączając do niej Śląsk i późniejsze Górne Łużyce. Akt ten, już jako cesarz rzymski, potwierdził w 1355 r. W odpowiedzi na akt inkorporacji król Polski ponownie wkroczył do księstwa wrocławskiego[19]. Konflikt zażegnano w Pokoju w Namysłowie. W 1360 Karol IV przyrzekł Kazimierzowi Wielkiemu nie podejmowanie starań o zmianę przynależności metropolitalnej biskupstwa wrocławskiego (ówczesny Śląsk w ramach państwa czeskiego pozostaje w kościelnym związku z Polską, z metropolią gnieźnieńską). Jednak potem Kazimierz Wielki podejmował jeszcze działania u papieża Urbana V na rzecz unieważnienia swojego zrzeczenia. W liście do Stolicy Apostolskiej z 20 kwietnia 1364 Kazimierz prosił o unieważnienie zrzeczeń terytorialnych dokonanych bez aprobaty papieża. Kancelaria królewska pisała w swym piśmie, że "król zawarł, pod przysięgą pewne układy, ze szkodą swojego Królestwa i Kościoła rzymskiego, co do niektórych księstw, władztw i ziem, należących od dawien dawna do prawa, panowania i władzy Królestwa i stanowiących jego własność, a nie zachowała się pamięć, aby było inaczej". Suplika ta została przez kancelarię papieską opatrzona formułą "niech się stanie bez drugiego czytania" co oznacza, że wniosek ten zyskał aprobatę papiestwa, jednak bulla z tym związana nie jest znana[20].

W 1392 roku wraz ze śmiercią Agnieszki, wdowy po Bolku II, księciu świdnicko-jaworskim, ostatnie niezależne księstwo śląskie zostało zhołdowane przez czeskich Luksemburgów. Ostatni książę śląski z dynastii Piastów Jerzy IV Wilhelm, książę legnicko-wołowsko-brzeski, zmarł w 1675 w Brzegu. W 1404 Wacław IV Luksemburski obiecuje zwrócić "całą ziemię śląską z jej księstwami" Władysławowi Jagielle w zamian za pomoc wojskową, ten jednak propozycji nie przyjął, nie chciał wikłać się sprawy śląskie przed rozprawą z Krzyżakami. W połowie XIV w. liczba ludności Górnego Śląska szacowana jest na około 150 000 ludzi, z czego ludność miejska to 23 000 osób. Początkowo językiem urzędowym była łacina, stopniowo zaczęto jednak używać języka niemieckiego, ze względu na fakt iż nie istniał jeszcze polski język kancelaryjny[21]

Od połowy XIV wieku pojawia się na Górnym Śląsku także kolonizacja na prawie zachodnim, zniemczone zostają okolice Nysy i Kluczborka.

W XV w., w wyniku wykupu i inkorporacji, kilka małych księstw na granicy z Małopolską zostało odłączonych od Śląska i z czasem włączonych do Królestwa Polskiego: siewierskie (1443), oświęcimskie (1457) i zatorskie (1494). Z dawnych kasztelanii małopolskich przy Śląsku pozostało księstwo bytomskie. Granica śląsko-małopolska z 1494 r. utrzymała się do rozbiorów Polski, a później była granicą Prus/Niemiec i Rosji do 1914 r.

W XV w. dzielnica mocno ucierpiała w wyniku najazdów husytów, którzy zdobyli większość zamków i miast. Śląsk, podobnie jak Łużyce i część Moraw, popierał katolickiego władcę Czech – Zygmunta Luksemburskiego (jako król czeski 1420-1437), późniejszego cesarza, potem jego następców, cesarza Albrechta i króla Władysława Pogrobowca, obu z dynastii habsburskiej. Po śmierci tego ostatniego w 1457 r. w Pradze królem wybrano Jerzego z Podiebradów, utrakwistę, którego nie uznawał przede wszystkim Wrocław, a z czasem kuria rzymska i inne ziemie Korony Czeskiej (Łużyce, Morawy).

W 1469 roku Śląsk opanował wybrany królem Czech przez część katolickiej szlachty Maciej Korwin, król Węgier. Na mocy pokoju ołomunieckiego z 1478 roku zarówno Władysław II Jagiellończyk, jak i jego konkurent Maciej Korwin mieli prawo do używanie tytułu króla czeskiego. Po śmierci Korwina w 1490 roku biskup wrocławski oraz książęta śląscy wyrazili zgodę na uznanie swoim panem Władysława Jagiellończyka.